氧化硅谐振腔

TYTAN 氧化系统能够用于制备高品质因子光学谐振腔。目前世界顶级记录（接近10亿）的保持者使用的就是TYTAN 氧化系统。 TYTAN 炉系统能够提供优质无杂质的氧化层厚达20微米。Tystar专有设计和工程优势使得TYTAN 系统能够连续运行几周而不会出现中途停机。TYTAN 系统以其自身的稳健性和工艺稳定性而著称。

常压化学气相沉积工艺

• 超高温氧化炉
• 氧化硅谐振腔
• 湿法氧化
• 带有二氯乙烯清洗的干法氧化
• 厚膜热氧化
• 固态源扩散
• POCL₃ 或 BBR₃ 液态源扩散
• 退火
• 通过低压化学气相沉积法制备纳米材料