迷你系列
标准系列
光伏系列
纳米系列
光化学气相沉积
改进型化学气相沉积
气体控制器
质量流量校准器
质量流量测试仪
TYTAN 炉系统广泛应用于半导体器件，微机电系统和光伏电池的生产制造。
Tystar PVD 1000光增强型化学气相沉积是使用紫外线作为能源在低温 条件下激发气体沉积介电层等薄膜。
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