*推荐选择最高电压

频率
系统布局*

*布局决定了上料工位和源柜的位置

垂直/水平式层流系统*

*层流系统能够创造净化等级达到10级的环境

等离子体清洗*
超高真空炉管*

*真空度低于 10-8 Torr

管 #1
管 #2
管 #3
管 #4
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