光伏电池制造

太阳能电池属于半导体器件，太阳能电池制造工艺与半导体器件制造工艺上没有太大的区别。 商业化太阳能电池制造商如今多采用多晶硅太阳能电池。 我们的热反应器和PECVD反应器适用于多晶硅太阳能电池的制造。 在其它太阳能电池技术的发展上，薄膜太阳能电池正有迅速上升的势头，并且有望代替单晶硅太阳能电池市场。 Tystar PECVD系统同样适用于薄膜太阳能电池的生产。