产品应用概况
Tystar 公司产品主要应用于半导体行业。 半导体制造和工艺技术在最近几年已成功拓展至众多领域，如太阳能光伏电池、MEMS(微机电系统)、光波导通讯、光电设备和纳米设备等等。 在扩散和氧化炉市场，尤其是中国和印度的光伏太阳能电池生产方面， 为Tystar产品提供了一个可持续发展的市场。 碳纳米管和纳米线的制造要求采用常压和低压CVD炉，Tystar已经为不同客户安装了这些系统，我们客户给予的充分评价。
TYTAN 炉系统概述
TYTAN炉系统正在应用于半导体器件、微机电系统和光电池的制造。Tystar 已经在全世界安装了数百台炉子，并且它们都可以正常运转，一些系统的运转已经超过了20年。TYTAN炉是由很多种零部件构成。其机械部分、电子组件和复杂的石英制品都经过特殊处理，以保护工艺过程中的硅片的完整性。在操作工艺中，炉子在1300摄氏度的温度下运作，能够暴露在有毒，有腐蚀性的气体和液体之中。在过去的30年内，炉子的设计通过Tystar公司不断的更新，提高了其性能和耐用性。程序控制器经过数次重复改进，增强了其操作的简易度和精确性。TYTAN炉系统优良的设计让其具备了耐用性、稳定性和适用性。TYTAN炉系统为硅晶片的加工提供了一个好的设计，即隔热包专利产品提供了更紧凑的炉体，但是性能却不打折扣。这种设计提高了工艺均匀性和硅片产能。
自1980年以来，TYTAN炉系统就一直稳定服务于工业，大学和国家实验室。 我们的设备较传统规格设备占用空间更少，消耗能源更少，提供优良的工艺均匀性，操作简便化，降低人工误操作。 Tystar公司在全球安装有超过1600 根工艺炉管，绝大部分都在正常使用。庞大的客户群是对Tystar 售后服务满意的直接证明。
- 占地空间小,节约了40% 的洁净室空间
- 优质的温度和处理的均匀性
- 开机率大于 95%
- 与其他厂家同款设备相比，能源消耗节省50%
- 高的工艺产能
- 最低程度的废气回流
- 特气使用量较小
- 生成的颗粒少
- 有效降低生产成本
TYTAN 炉系统有多种型号和规格
TYTAN 炉系统
产品概况
Tystar产品目录包含多个产品，如光化学CVD、制造光纤的改良CVD、PECVD系统、控制器、数据收集系统和仪器。Tystar技术能够满足工业和研发部门的广泛需求。我们在相关的技术领域有多年的经验和专门技术。
