TYTAN 标准系列

TYTAN 标准系列是专为扩散、氧化和低压化学气相沉积工艺而设计的。该系统尤其适合大规模批量生产或者科研。 在半导体行业，TYTAN标准系列设备已作为可靠生产设备被认可。它的设计融合了硅片处理的诸多先进理念，也因此能够提供优异的性能和极好的工艺均匀性。 该系统优势如下：

控制系统

Tytan炉系统能够由触摸屏电脑来控制温度，气流，工艺时间和顺序，和晶圆装卸。 控制系统是模块化的，它由以下几部分组成：FCS-10/30 炉管控制系统, FCS-20E 工艺控制主机, 温度控制单元 (TCU), MFS-460 质量流量系统,和DCS-30 数据收集系统组成。 所有的控制部件兼容SECS/GEM 标准。

晶圆环境

炉管用户非常关注晶圆污染以及颗粒沉积。 气路系统和工艺炉管内部晶圆周边材料均采用高纯度耐化学材料，并且预清洗和设备组装均在净化间内完成。在进入工艺炉管位置的特气管道上都已安装气体过滤器。 工作台可选配满足10级洁净度的层流系统。

安全

Tytan炉系统配备多种安全互锁和检测，它能够有效预防因零部件故障，意外断电或操作失误而造成的设备损坏。 错误状态会触发错误报警，它将在触摸屏上显示出来，激活指示灯塔和触发蜂鸣器。每根炉管都是独立控制，单根炉管故障不会影响其它炉管正常使用。 这套系统配备有主电源开关和一个或多个急停按钮。

气体控制系统是基于故障保护理念设计而成，无需特别注意。 如果有意外情况发生，系统将自动启动氮气吹扫循环。 安全互锁适用于气体控制系统，它能够提供充足的气体吹扫循环，时间延时，防止低温条件下通入特气或者与气路不兼容等。 反应气体在这几种情况下不允许通入反应腔室，如炉门处于打开状态，反应腔压力过大，或温度过低等状态。

有毒或易燃气体泄漏能够被预防，主要源于采用高品质零部件，氦气检漏，电子抛光和自动焊接的316不锈钢管道，VCR 接头，双壁管以及每一路气体都配备有截止阀等。 当有气体泄漏或底压高于设定值时，安全互锁会将反应气体关闭。 所有的气体面板都安装在带有抽风的气源柜中。 所有气体管道均经过电子抛光，它能够有效预防颗粒的产生和表面残留。

TYTAN炉系统有多款设备和配置可供选择：