气体控制器

Tystar气体控制系统能够提供工艺气体的精确控制和混合。 气体面板采用紧凑的模块设计并且使用自动焊接的316不锈钢管道。它们都经过氦气检漏满足10-8 cm³/s泄漏测试标准。 MFS-460电子气体控制器能够提供多种安全互锁功能和其它关键气体控制功能。

MFS-460电子气体控制器

Tystar 公司MFS-460电子气体控制器可控制多达6个独立质量流量控制器的工艺气路。 MFS-460能够实现手动模式或自动监测气体流量，提供气体流量的错误范围，并且显示设定流量和实际气体流量。 对于低压化学气相沉积应用，该单元提供了反应压力的读取和闭环压力控制。 MFS-460同样定义了气体互锁设置，气体比率控制和EPROM范围错误，保证所有工艺气体的安全操作。 它与主控制器如FCS-10连接（通过RS232串行通讯）。