TYTAN 炉系统

TYTAN 炉系统概述

PVD

自1980年以来,TYTAN炉系统就一直稳定服务于工业,大学和国家实验室。 我们的设备较传统规格设备占用空间更少,消耗能源更少,提供优良的工艺均匀性,操作简便化,降低人工误操作。 Tystar公司在全球安装有超过1600 根工艺炉管,绝大部分都在正常使用。庞大的客户群是对Tystar 售后服务满意的直接证明。

  • 占地空间小,节约了40%的洁净室空间
  • 优质的温度和处理的均匀性
  • 开机率大于95%
  • 与其他厂家同款设备相比,能源消耗节省50%
  • 高的工艺产能
  • 最低程度的废气回流
  • 特气使用量较小
  • 生成的颗粒少
  • 有效降低生产成本

TYTAN 炉系统有多种型号和规格
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