TYTAN迷你系列

Solar Tytan

TYTAN迷你型炉系统的设计适用于扩散、氧化和LPCVD。 由于系统占地面积大大减少,且其所要求的电能比传统电炉要小,因此迷你型系列在半导体工业和研发部门作为可靠的工艺工具受到了人们的青睐。它能提供卓越的性能和工艺均匀性。该设计融合了高性能硅片处理的众多先进理念。该系统的部分优点如下:

  • 装满50到100片硅片时占地面积小
  • 工艺均匀性极高
  • 正常运行时间超过95%
  • 使用的客户群大
  • 专家专线服务
  • 最大8/200毫米
  • 节省电力达到50%

控制

TYTAN控制系统可以直接从触摸屏来控制温度感、气体流量、压力控制、顺时和顺序启动、硅片装卸载。 控制系统由这几个单元构成FCS—10/30 炉体控制系统, FCS-20工艺控制主机, TCU 温度控制单元,MFS-460 质量流量控制系统以及DCS-30数据收集系统。所有控制单元之间通讯采用SECS/GEM 协议。

硅片生态

硅片污染和颗粒沉积是设备制造和研发工程的关注事项。用于配气系统以及与反应器中的硅片相接触的所有部件的材料都是经过仔细挑选的高纯度、耐化学腐蚀材料。在预清洗和炉系统装配过程中要格外注意。在气体输入到反应器管处均使用点式气体过滤器。选配层流系统的净化工作台的净化等级能够优于10级。

安全性

Mini Tytan 4600

Tytan 系统具有安全互锁和其他测量功能以确保安全,并减少因零部件故障引起的事故,断电和操作失误。错误的状态会触发报警并显示在触摸屏上,并且激活灯塔和蜂鸣器。每根炉管都是单独来控制的,所以一根炉管有故障不会影响其他炉管工作。每一个系统都有一个主电源开关和急停按钮。

气体控制的设计理念是自动控制防止故障产生,这样一来可以减少操作人员的忧虑。当有紧急情况时,系统会自动启动氮气吹扫模式。安全互锁也应用在气体控制系统起到控制特定的气路,时间延时和防止气体流量低于设定值或与其他气体不兼容等作用。在工艺炉炉门打开状态,炉管内压力过高或者炉管内温度过低的状态时,反应气流不会被激活。

有毒/易燃气体泄漏已经得到预防,因为我们选用的都是高质量的元件,通过氦气检漏测试,自动焊接316不锈钢管道,VCR垫片,双壁管道以及各个气路的安全截止阀。气体控制系统会启动安全互锁关闭反应气体以应泄漏事故或者吹扫氮气气流低于某个设定值。所有的特气控制元件是安装在一个有排风的气柜中。所有的特气管道都是经过电子抛光的,这样可以有效减少颗粒的产生和表面残留。

TYTAN炉系统有多种型号和规格:
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